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제품특징
1, 초정밀 모션 성능
반복 위치 정확도는 0.2μm 미만이고 절대 위치 정확도는 1.5μm에 도달하여 반도체 감지와 같은 고정밀 시나리오 요구 사항을 충족합니다.
전체 스트로크의 실시간 폐쇄 루프 제어를 위해 1nm 해상도 선형 인코더가 내장되어 모션 안정성을 보장합니다. 그리고 고속 동적 응답으로 장비의 사이클 효율이 크게 향상됩니다.
2, 혁신적인 구조 설계
USB/직렬 포트 연결 또는 병렬 드라이브 구성을 지원하는 모듈형 드라이브 시스템은 단일 케이블을 통해 다축 장치에 직렬로 전원을 공급할 수 있으며 컨트롤러와 결합하여 다축 조정 모션을 달성하고 복잡한 시스템 통합을 단순화하며 수직 설치를 최적화하고 자기 균형 기술 채택, 강성을 높이기 위한 특수 가이드 레일 구조 및 높은 부하 용량을 제공합니다.
3, 환경 적응성 이점
깨끗한 생산, 기계적인 전송 손실 없음, 작동 중 소음 및 먼지 배출 없음, 반도체/LCD 패널 제조에 대한 청정 표준 준수, 긴 서비스 수명 제공.
유지 보수 요구 사항이 낮고 벨트 및 나사와 같은 중간 전달 메커니즘을 제거하여 기계적 고장 지점을 줄입니다.
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제품 응용
정밀 제조: 반도체 웨이퍼 포지셔닝, 광학 부품 교정
자동화 장비: CNC 공작 기계 제어, 3D 프린팅 정밀 플랫폼
연구 장비: 현미경 스테이지 변위, 실험 장비의 고정밀 조정.
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제품 세부정보
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제품 매개변수

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