Линейный модуль серии LDA12 Легкий винтовой направляющий стол Линейный привод с шарико-винтовой передачей

1. Сверхточное движение.

Точность повторного позиционирования составляет менее 0,2 мкм, а абсолютная точность позиционирования достигает 1,5 мкм, что соответствует требованиям высокоточных сценариев, таких как обнаружение полупроводников.

Встроенный линейный энкодер с разрешением 1 нм для управления всем ходом в режиме реального времени, обеспечивая стабильность движения. А благодаря высокоскоростному динамическому отклику эффективность цикла оборудования значительно повышается.

2、 Инновационный структурный дизайн

Модульная система привода, поддерживающая подключение через USB/последовательный порт или конфигурацию параллельного привода, многоосные устройства могут подключаться последовательно через один кабель в сочетании с контроллером для достижения многоосного скоординированного движения, что упрощает интеграцию сложной системы, оптимизирует вертикальную установку, применяет технологию магнитного баланса, специальную конструкцию направляющих для повышения жесткости и высокой грузоподъемности.

3. Преимущество экологической адаптации.

Чистое производство, отсутствие механических потерь при передаче, нулевой шум и выбросы пыли во время работы, в соответствии с чистыми стандартами производства полупроводниковых/ЖК-панелей, с длительным сроком службы. ‌

Низкие требования к техническому обслуживанию, отсутствие промежуточных механизмов передачи, таких как ремни и винты, для уменьшения количества механических отказов.

Прецизионное производство: позиционирование полупроводниковых пластин, калибровка оптических компонентов.

Оборудование для автоматизации: управление станками с ЧПУ, прецизионная платформа для 3D-печати.

Инструменты исследования: перемещение предметного столика микроскопа, высокоточная настройка экспериментального оборудования.