LDA12シリーズ リニアモジュール 軽量ねじ式スライドテーブル ボールねじ式リニアアクチュエータ

1、超精密動作性能

繰り返し位置決め精度は0.2μm未満、絶対位置決め精度は1.5μmに達し、半導体検出などの高精度シナリオの要件を満たします。

ストローク全体のリアルタイム閉ループ制御を実現する分解能 1nm リニアエンコーダを内蔵し、動作の安定性を確保します。高速動的応答により、装置のサイクル効率が大幅に向上します。

2、革新的な構造設計

USB/シリアルポート接続または並列ドライブ構成をサポートするモジュラードライブシステムは、単一のケーブルを介して多軸デバイスに直列に電力を供給でき、コントローラーと組み合わせることで多軸の協調動作を実現し、複雑なシステム統合の簡素化、垂直設置の最適化、磁気バランス技術の採用、剛性を高めるための特殊なガイドレール構造、および高耐荷重を実現します。

3、環境適応性の優位性

半導体/LCD パネル製造のクリーン基準に準拠した、クリーンな生産、機械伝達損失がなく、動作中の騒音や粉塵の排出がなく、長寿命です。 ‌

メンテナンスの必要性が低く、ベルトやネジなどの中間伝達機構が不要なので、機械的な故障箇所が減少します。

精密製造: 半導体ウェーハの位置決め、光学部品の校正

自動化機器: CNC工作機械制御、3Dプリンティング精密プラットフォーム

研究機器：顕微鏡ステージ変位、実験装置の高精度調整。